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温度控制模块
IC handler温度控制模块
主动温控(ATC)选项
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主要特点
温度范围从-60℃到+175℃(-76 °F 至 +345 °F)
完全集成的分选机软件控制冷却单元,并提供三种配置选项——
电动空气冷却器:
-40℃ (-40°F)DUT结温系统规范
双电动空气冷却器
-50℃ (-58°F)DUT结温系统规范
LN2 热交换器
-60℃ (-76°F)DUT结温系统规范
可选的柱塞式微腔,可提供高达10℃的附加性能
闭环温度控制——传感器集成在三温头上
受益于在散热器处直接测量温度,并与设备进行导电接触,从而保证了极高的精度
电气测试中高IC功耗可控
软件操作的气流控制系统带HMI反馈
通过GPIB或者RS232改变测试仪的温度
可在测试期间微调
可在多个测试温度下单次插入
可在不同设定温度下进行多项测试,且无需用户干预
系统内部密封吹扫以防止冻结
模块化、可扩展的温度系统
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