esmo 半导体测试接口对接(docking & interfaces)方案

在半导体测试中,测试机的测试头和分选机(handler)或晶圆探针台(wafer prober)需要对接产生信号联系,无论哪种对接方式(硬对接 (hard docking)亦或是直接对接(direct docking))都是必要的。

在ATE 设备测试过程中,测试头(test head)和晶圆探针(prober)之间机械接口稳定连接相当重要。客户往往面临着频繁测试对接任务,测量精度要求高,不同的测试机和探针台组合,位移等一系列挑战......所以他们需要在测试机和探针台之间建立一组稳定的信号连接关系。

esmo集团拥有超过20年的设计制造探针台(prober)和测试机(tester)对接接口经验,所有esmo对接和接口产品(docking & interfaces)都可以与传统的处理器,探针台和测试机集成标准化的功能。

高对接力和可重复精度,模块化/稳定的设计,esmo精密设计提高了测试结果的准确性和完整性。 esmo对接和接口产品(docking & interfaces)可以快速设置,几乎不需要维护,提高了测试准确性。

esmo hard docking 方案示例

Tester – Prober 测试机 - 探针台

Tester – Handler 测试机 – 分选机

esmo direct docking 方案示例

Tester - Prober 测试机 - 探针台